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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆产出线配套方案的超净水系统化,定期制造含硅污废水 150吨。污废水 中虽无天价属,但硅的含量高易水垢,且电阻器率需完成18MΩ·cm才可回收。现有解决制作工艺始终无法 实现新废止的《智能轻工业水严重工业废气摆放口规定》(GB39731-2020)非常摆放口限制值。 工业废水材质特别 一般废弃物物 :溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(比表面积0.1-1μm) 层次性必须 :TOC<10μg/L,硼含碳量<5μg/L 水环境特点 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅氧化物型态多样化 解决的工艺步奏 多元化进行"梯级膜脱离+电去铝离子"女子组合工艺流程: 微滤预正确处理 :1μm卫浴陶瓷膜截拦大小粒硅,通量恢复80LMH 阴阳离子互换光敏树脂 :D201大孔硅胶粘合剂首选性吸附物硅酸分子式 二级考试RO系统 :第1 段回笼率60%,然后段通过高脱硼膜构件 EDI电去铁离子 :工作电流黏度2A/m²,不间断清除残留化合物 太阳光的紫外线臭氧消毒 :254nm太阳光的太阳辐射线标准容量40mJ/cm² 技术水平闪光点 建设专业化阻硅剂(巧妙胺类组合物),廷迟膜生态破坏过渡期3倍 EDI接口特色化流道开发,硅祛除率上升至99.8% 网上硅介绍仪(测试依据0.1-500μg/L)实行会员精准营销把控好 使用预期效果 经其次方判断: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼分量从8μg/L低于0.3μg/L 平台收废率从原40%升高至68% 膜拆换的周期延缓至5年,年进行成本价减低35%

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